中 초해상도 포토리소그래피 장비 연구제조 기술 돌파

2018-11-29 19:19:14 CRI

중국 국가 중대 과학연구 장비연구제조 프로젝트인 '초해상도 포토리소그래피 장비 연구제조'프로젝트가 일전에 초해상도 영상 부품 디자인과 가공 등 일련의 관건기술의 돌파를 실현하면서 해상도가 회절한계(Diffraction Limit)를 넘어선 세계 첫 포토리소그래피 장비를 연구제조했습니다.

자주적인 지식재산권을 소유한 이 장비는 첨단 포토리소그래피 장비영역에서 외국의 독점을 타파했을뿐 아니라 나노광학가공을 위해 새로운 해결책을 마련해주었습니다.
약 7년간의 간고한 노력 끝에 중국의 '초해상도 포토리소그래피 장비 연구제조'프로젝트는 참고할만한 외국의 성숙된 경험이 없는 상황에서 고 균일 조명, 초해상도 포토리소그래피 렌즈 등 관건기술을 돌파한 것으로 알려졌습니다.


번역/편집: 한경화
korean@cri.com.cn



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